07.08.2026 10:30
В 3000 раз быстрее: российский проект многолучевого литографа Представьте: вместо одного электронного луча, который точ
В 3000 раз быстрее: российский проект многолучевого литографа
Представьте: вместо одного электронного луча, который точечно вырезает рисунок на кремнии (именно так создают микросхемы для процессоров, видеокарт и другой электроники), сразу несколько десятков пучков работают одновременно. Именно так устроен проект многолучевого электронного литографа, который представили российские разработчики. Ключевой элемент — мультикатод, создающий множество параллельных лучей без сложной системы расщепления одного пучка. Это может ускорить производство микросхем примерно в 3000 раз и вдобавок снизить энергопотребление и стоимость оборудования.
Идея многолучевой литографии не нова — над ней бьются инженеры по всему миру уже несколько десятилетий. Классическая электронная литография даёт отличную точность, но работает очень медленно. Распараллелить процесс логично, но технически сложно. Сейчас проект на стадии завершённых научно-исследовательских работ, полноценную установку хотят создать через три года. Если доведут до ума, Россия получит собственную платформу для производства чипов — от относительно простых микроконтроллеров до сложных процессоров.
О технологиях с русским характером
Представьте: вместо одного электронного луча, который точечно вырезает рисунок на кремнии (именно так создают микросхемы для процессоров, видеокарт и другой электроники), сразу несколько десятков пучков работают одновременно. Именно так устроен проект многолучевого электронного литографа, который представили российские разработчики. Ключевой элемент — мультикатод, создающий множество параллельных лучей без сложной системы расщепления одного пучка. Это может ускорить производство микросхем примерно в 3000 раз и вдобавок снизить энергопотребление и стоимость оборудования.
Идея многолучевой литографии не нова — над ней бьются инженеры по всему миру уже несколько десятилетий. Классическая электронная литография даёт отличную точность, но работает очень медленно. Распараллелить процесс логично, но технически сложно. Сейчас проект на стадии завершённых научно-исследовательских работ, полноценную установку хотят создать через три года. Если доведут до ума, Россия получит собственную платформу для производства чипов — от относительно простых микроконтроллеров до сложных процессоров.
О технологиях с русским характером